超声波微液体流量计，用于半导体制造过程中微观区域的流速管理，如异丙醇、纯水和化学液体・测量1ml/min的微小流速・通过数字信号处理，高精度测量微小流量・传感器部分采用与流体非接触式结构・范围广
2024-07-18 admin
超声波微液体流量计，用于半导体制造过程中微观区域的流速管理，如异丙醇、纯水和化学液体。・测量1ml/min的微小流速・通过数字信号处理高精度测量微小流量・传感器部分采用与流体非接触式结构・范围广
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