日本 HORIBA 崛场制作所 液晶用分光式椭圆偏光仪 FF-1000
堀场制作所(HORIBA, Ltd.)创业1945年（昭和20年）10月17日，设立1953年（昭和28年）1月26日。公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测量设备等。堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测量与分析设备。业务内容车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持环
公司主要生产和销售汽车排放测量系统、环境测量仪器、种类齐全的科学分析仪、医疗诊断分析仪和半导体行业使用的测 量设备等。
堀场还生产和销售外围测量与分析设备。此外，公司还可为实验室等机构提供用于研发、生产和其他应用的测 量与分析设备。
业务内容
车：为提高车辆测试效率和加快开发提供有力支持
环境/过程：为全球环境保护以及生产和质量控制过程中测量技术的发展做出贡献
医疗用途：提供实验室检测设备支持人们的健康生活
半导体：通过流量控制和测量技术，为半导体制造工艺的良率提高和技术创新做出贡献
科学：为从分析实验室到生产现场的尖端材料研究做出贡献
水/液体：为所有类型的水和液体的研究和管理做出贡献，包括环境水、半导体化学品和生物体。
活力：通过全球网络×测量技术×工程，为2050年实现碳中和社会做出贡献
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HORIBA 堀场 水质计D-200系列 D-210P-S(pH/ORP) D-210D-S(DO) D-210PC-S(pH/ORP) D-210PD-S(pH/COND/DO)
D-220P-S(pH) D-220C-S(COND) D-220D-S(DO) D-220PC-S(pH/COND) D-220PD-S(pH/DO)
多合一案例。携带手提箱可轻松直接前往现场！坚固的机身非常适合现场。防水防尘结构！防刮屏幕。
标准配备背光功能！防震且易于握持。操作直观。易于理解的指示器！9个按钮操作简单！单手即可轻松操作！配有电极支架。配备支架。
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规格
电源 2节AA碱性电池（也可使用镍氢充电电池）
能量消耗 电池电压3V 5mA以下（待机）
展示 带背光的单色定制液晶显示屏
温度 测量方法：热敏电阻法。测量/显示范围：-30.0~130.0°C/-22.0~266.0°F。
显示分辨率：0.1℃/°F。准确度（仪器重复性）：±0.5°C/±0.9°F。
功能 稳定性判断功能：自动保持、自动稳定、瞬时值
防尘防水性能相当于IP67
PH计 pH-33B / 9625-10D / pH-11B / pH-22B
一款紧凑型 pH 计，只需一滴 (0.1mL ~) 样品即可对酸度和碱度进行数值测量。
虽然它很小，但它采用了与实验室使用相同的玻璃电极和温度补偿功能。
LAQUAtwin独特的平面传感器只需掉落即可进行测量，因此不需要烧杯，也可以直接放置在河流等中并舀出进行测量。
规格
目的热带鱼养殖水体、河流、湖泊、温泉、废水、土壤、发酵、酿造、化学、医药、学校教育等。
测量范围pH0～14 质量（克）约50个（不含电池）
工作温度范围（℃）5～40 外形尺寸（毫米）164×29×20（不含突出部分）
电源2 节纽扣型锂电池 3V (CR2032)
测量项目酸碱度
显示方式定制（单色）数字液晶显示屏
工作湿度范围相对湿度85%以下（无凝露）
电池寿命（小时）连续使用约400次（背光关闭时）
测量原理 玻璃电极法
样品体积（毫升）0.1以上
主要成分ABS树脂
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.全自动薄膜检测系统(液晶用分光式椭圆偏光仪) FF-1000
可以满足FPD制造工艺中最先进的检测需求(TFT中的低温多晶硅/非晶硅/有机EL) 可以对各种薄膜¿多层膜进行评估¿分析
概要
全自动薄膜检测系统 FF-1000 不仅可以应对长宽 1m 以上的第五代大型玻璃基板，而且还可以应对 TFT (Thin Film Transistor) 中的低温多晶硅以及非晶硅、有机 EL(Organic Electro Luminescence) 等下一代FPD的制造工艺，非常有利于FPD的进一步普及和技术革新。
它可以高速且高精度地检测各种玻璃基板上的各种薄膜以及多层膜的膜厚和光学常数。
全自动薄膜检测系统 FF-1000 使 HORIBA JOBIN YVON 公司的分光式椭圆偏光仪中融合了 HORIBA 的全自动检测技术，是实现了全自动且可以同时进行统一检测的全自动类型薄膜检测系统(液晶用分光式椭圆偏光仪)。
特点
●也可以应对TFT中的低温多晶硅以及非晶硅、有机EL等下一代FPD
也可以适用于TFT中的低温多晶硅以及技术性飞跃最为受到关注的有机EL等下一代FPD的制造工艺。
●也可以检测第五代大型玻璃基板
可以适用于1110×1250mm的第五代大型玻璃基板等各种基板尺寸。
※有关更大的尺寸大小请另行咨询协商。
●采用了没有机械性振动的PEM元件，实现了高速¿高精度的检测
HORIBA JOBIN YVON的分光式椭圆偏光仪和其他公司不同，采用使用了PEM元件的相位调制方式。不仅几乎不会受到外光的影响，而且还没有机械性振动，可实现高速¿高精度的检测。
※光弹性¿调制器：光弹性调制元件
●可以检测1nm的超薄膜以及TFT用的多层膜
可以对从190nm到830nm(标准：240¿830nm)的短波长到长波长之间广泛范围波长领域的膜厚进行检测¿数据解析。
●包括100ms的高速¿高灵敏度检测在内，检测可以从2种模式中进行选择
单色模式：可以进行高精度评估
高速检测模式：通过多波长同时检测装置，实现了高灵敏度、最小检测时间100ms的高速检测
多波长同时检测装置
●备有工程师模式和操作员模式这2种模式
工程师模式：可以进行细微的设定，以实现高度的解析
操作员模式：几乎不会受到个人技术¿经验所左右的简易操作模式
●搭载有可以对复杂的复合多层膜进行全自动解析的软件
可以对光学常数以及组成¿均一性进行检测¿解析
折射率、消衰系数的运算
●高精度的图案识别功能※、可以连续检测
搭载有高精度的图案识别功能。可以通过全自动检测点的判定，实现连续检测。
※可选件
●也可以适用于最新的自动化生产线
不仅适用于工厂内的LAN，而且还适用于AGV以及CIM等自动化生产线
FF-1000
规格
基本型号名称
FF-1000
检测模式/波长范围
单色仪模式：240-830nm
多波长 高速检测模式：240-830nm
适用样品大小
适用于1110×1250 mm 等各种尺寸
(有关更大规格的尺寸请另行咨询协商。)
图案识别
可以适用(可选件)
全自动薄膜检测系统(光电调制型椭圆偏振光谱仪)
FF-1000
使用了PEM元件的相位调制方式
所谓椭偏光谱法是指观测光在在物质的表面反射时的偏振状态变化(入射和反射)，由此测量膜厚以及材质等与物质相关的信息的方法。
FF-1000在相位调制方式的测量原理中采用了使用PEM元件的椭圆偏振光谱仪。如图所示，线偏振光通过PEM晶体后，将会形成被相位调制成50KHz频率的椭圆偏光。因此，通过仅仅数毫秒的分析就可以决定Ψ、Δ。由于PEM的特性及其高的频率检测时间可以短到1ms。并且，由于cosΔ、sinΔ均可以检测，所以Δ的精度很高。而且测量没有机械性振动，实现了高速¿高精度的检测。
■PEM原理图
■ 检测部构成图
全自动薄膜检测系统(光电调制型椭圆偏振光谱仪)
FF-1000
操作画面/检测结果
●CIM Manager(通信控制模块管理画面)
在CIM Manager画面中可显示盒的lot ID一览。希望检测的lot设定也很简单。
●Sensor Manager(传感器管理画面)
通过传感器管理画面可以一目了然地对检测条件、检测位置以及检测结果等进行确认。
●DATA point (数据点画面)
如果点击各检测点，就可以确认各检测点的详细信息。
●POINT view(点显示画面)
通过点击被显示在检测面板画面中的检测点，可以确认检测结果。
●Measurement Data Trend(检测结果趋势画面)
可以把检测结果显示在趋势图表中。也可以对平均值、最大值、最小值、以及标准偏差自动进行计算。
●低温多晶硅的检测结果(Low Temperature p-Si)
历史发展
1945-1960年代为研发型公司奠定基础
1945 年 10 月成立“堀场无线研究所”
1950年3月完成国内第一台玻璃电极pH计的国产化。
1953年1月成立“株式会社堀场”
1957年开始销售红外线气体分析仪“GA型”
1957年红外气体分析技术的兴起
1959 年 11 月与日立建立业务和技术联盟。
1964年在测量工业展览会（大阪）上展示汽车尾气测量设备作为参考。全球汽车尾气品牌“MEXA”诞生
1964年开始生产用于空气污染监测的二氧化碳测量仪“APPA-1”。
1969年介绍 HORIBA 历史上的热门产品 MEXA-200 CO 测量仪
1970年与美国 Olson Laboratories, Inc. 合并成立 Olson Horiba。全面启动海外扩张
1971 年 3 月在大阪证券交易所和京都证券交易所上市。
1972年在美国、德国设立子公司
1974年确立标准技术（现HORIBA STEC）
1975年向美国EPA（环境保护局）交付汽车尾气测量系统。“MEXA”成为全球标准
1975年成立Kos（现为“Horiba Advanced Techno”）
1976年能量色散X射线分析仪的研制
1978年确立了“有趣、有趣”的公司座右铭
1978年成立专门从事员工福利的公司“Horiba Community”。
1980年标准科技推出质量流量控制器。进军半导体领域
1982年HORIBA产品陈列室“分析中心”开业。更贴近客户
1982年9月在东京和大阪证券交易所第一部上市。
1984年开始生产光罩异物检查设备。全面进军半导体领域
1985年4月在新加坡设立销售办事处
1986年4月首家为部分企业实行三天工作制的上市公司
1987年成功开发世界第一台平板传感器卡式pH计“CARDI”
1987年3月与法国专门生产血细胞计数器的制造商ABX合作。医疗事业如火如荼
1987年10月与西德 Feuser AG 在汽车废气测量系统方面建立业务合作伙伴关系。
1988年开始建立“堀场身份”的ID活动。打造HORIBA品牌的第一步
1988年3月与美国Mydac就傅里叶变换红外分光光度计进行技术合作
1988年在奥地利成立“Horiba Austria”
1988年12月在韩国设立当地生产基地“Horiba Korea Co., Ltd.”。
20世纪90年代第二次创立和全球管理
2000年代“一家公司”集团团结一致，走向世界
2010年2月堀场敦荣获法国“荣誉军团勋章”。
2020年8月与岛津制作所合作开发并销售测量设备“LC Raman”
签订基本协议，开始合作开发和销售结合了岛津制作所的高性能液相色谱仪 (HPLC) 和堀场制作所的拉曼光谱仪的测量设备